微机电系统工程专业介绍一、专业概述



　　微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本专业在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。



　　微机电系统工程专业介绍二、培养目标



　　微机电系统工程是涉及微型机械、微电子、物理、材料、化学、生物等领域的综合性、交叉性新学科。该专业涉及介观物理、细观力学、微细加工、微纳测量与控制、功能材料与微纳器件等诸多学科基础理论与工程技术，被誉为对21世纪科技前沿发展具有重大影响的关键学科之一，应用前景广阔。该学科着重培养面向生化微纳机电系统、微传感器与微执行器、微机器人与微装配系统等科学研究、设计制造、产品研发需求的高层次专门人才。



　　微机电系统工程专业介绍三、主要课程



　　微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。



　　微机电系统工程专业介绍四、就业前景



　　微机电系统工程专业方向的人才需求虽然大，但可供选择的人也很多，如果没有非常强的综合素质，很难在众人之中脱颖而出，取得突出成绩。也许这对许多胸怀远大志向的考生来说是不能接受的。 当然，这里所说的两点是否可行也和学生个人的追求有关，如果一个人追求仅限于一份较好的工作，该专业的确是一个不错的选择。但是，如果想在科技创新方面做出突破性的贡献还是要建立在个人实力以及刻苦努力的基础上，馅饼是决不会无缘无故从天上掉下来的。 由于本专业研究范围广，应用前景好，毕业生的专业素养相对较高，因此就业形势非常好。



　　微机电系统工程专业介绍五、研究领域



　　微机电系统工程是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是：



　　1、微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。



　　2、以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。



　　3、批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。



　　4、集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。



　　5、多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。
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